6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
單晶硅/多晶硅刻蝕
氧化硅/氮化硅刻蝕
HF/BOE濕法釋放刻蝕
甩干干燥/烘箱干燥/IPA干燥
金屬刻蝕：Al/Au/Ti/Cr
金屬剝離(Lift-off工藝)
光刻膠去除
濕法腐蝕間
濕法腐蝕工藝原理圖
濕法腐蝕作業(yè)效果
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