6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
陽(yáng)極鍵合：硅-玻璃
硅硅鍵合：硅-硅，硅-氧化硅 (特色工藝，可鍵合4層硅)
共晶鍵合：硅-金
金屬熱壓：金-金
鍵合機(jī)（EVG）：擁有硅‐硅鍵合、硅‐氧化硅鍵合、金屬熱壓鍵合，金-硅共晶鍵合，鋁‐鍺共晶鍵合，陽(yáng)極鍵合多種鍵合工藝，鍵合對(duì)準(zhǔn)精度小于5um。
鍵合工藝圖
鍵合實(shí)際操作圖
陽(yáng)極鍵合效果
陽(yáng)極鍵合：硅-玻璃
硅硅鍵合：硅-硅，硅-氧化硅 (特色工藝，可鍵合4層硅)
共晶鍵合：硅-金
金屬熱壓：金-金
鍵合機(jī)（EVG）：擁有硅‐硅鍵合、硅‐氧化硅鍵合、金屬熱壓鍵合，金-硅共晶鍵合，鋁‐鍺共晶鍵合，陽(yáng)極鍵合多種鍵合工藝，鍵合對(duì)準(zhǔn)精度小于5um。
鍵合工藝圖
鍵合實(shí)際操作圖
陽(yáng)極鍵合效果
