SEM掃描電子顯微鏡（Sigma360）
工藝能力
性能指標：①電子光學系統(tǒng)項目 Sigma360性能指標：
- 分辨率：0.7nm @15kV，1.1nm @1kV
- 放大倍率： 10x-1,000,000x
- 電子槍： 熱場肖特基場發(fā)射電子槍
- 加速電壓 0.02kV~30 kV
- 束流 3pA-20 nA(100 nA optionally)
- 束流穩(wěn)定性 優(yōu)于0.2%/h
- 最快掃描速度 50ns/pixel
- 樣品臺最大可承載直徑250mm，最厚70mm的樣品
T(傾斜)：-10°~+90°，R(旋轉(zhuǎn))：360°連續(xù)。
