浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)加工企業(yè)。公司擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程。
芯動擁有1000平米超凈室，其中光刻區(qū)、鍵合區(qū)共150平米，凈化等級為十級，刻蝕區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、薄膜區(qū)共850平米，凈化等級為百級，是目前國內(nèi)少數(shù)百級、十級潔凈室，在高端MEMS傳感器制造廠房中屬先進(jìn)水平，擁有完整的MEMS工藝設(shè)計(jì)、加工平臺，可為國內(nèi)外同行提供微納器件研發(fā)、工藝代工、工藝測試等技術(shù)服務(wù)。
公司自成立以來，共實(shí)現(xiàn)300余項(xiàng)各類敏感芯片的研發(fā)、驗(yàn)證工作，為國內(nèi)100余個(gè)科研院所、高校以及民營企業(yè)的芯片制造提供了專業(yè)化支撐；也為多家企業(yè)快速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代做出了貢獻(xiàn)。
